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        2500℃電阻爐

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        • 碳化硅反應燒結爐
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        碳化硅反應燒結爐

        碳化硅反應燒結爐是專門用于制備反應燒結碳化硅(RB-SiC)的高端熱處理設備,通過硅熔滲(Silicon Infiltration)工藝,將多孔碳化硅素坯與熔融硅在高溫下反應,形成高致密、高性能的SiC-Si復合材料。該設備廣泛應用于半導體、航空航天等領域。

        產品介紹

        • 碳化硅反應燒結爐是專門用于制備反應燒結碳化硅(RB-SiC)的高端熱處理設備,通過硅熔滲(Silicon Infiltration)工藝,將多孔碳化硅素坯與熔融硅在高溫下反應,形成高致密、高性能的SiC-Si復合材料。該設備廣泛應用于半導體、航空航天等領域


            

          參數指標

          參數指標

           

           單位/型號

          實驗型

          生產型

          NTG-SJL-50W

          NTG-SJL-90W

          NTG-SJL-120W

          NTG-SJL-165W

          NTG-SJL-210W

          NTG-SJL-276W

          有效尺寸

          mm

          300×300×600

          400×400×800

          500×500×1200

          600×600×1600

          600×600×2000

          750×750×2000
          可定制更大尺寸

          加熱方式

          /

          石墨電阻

          高溫區容積

          L

          54

          128

          300

          576

          720

          1125

          裝載量

          g

          裝料區容積*產品密度(裝料容積可根據用戶需求定制)

            

          KW

          50

          90

          120

          165

          210

          276

          極限真空度

          pa

          冷態 5pa(真空度可根據客戶需求定制)

          工作溫度

          1500℃

          1500℃

          1500℃

          1500℃

          1500℃

          1500℃

          最高溫度

          1600℃

          1600℃

          1600℃

          1600℃

          1600℃

          1600℃

          恒溫區溫差

          ±5℃

          ±5℃

          ±7℃

          ±7℃

          ±10℃

          ±10℃

          爐內工作環境

          /

          真空狀態或Ar.N2氣氛保護(微正壓)


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