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        2500℃燒結爐

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        • 化學氣相沉積爐
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        化學氣相沉積爐

        臥式化學氣相沉積爐主要用于以碳氫氣體(如C3H8、CH4等)為碳源的材料表面或基體的CVD/CVI處理高溫氣相沉積設備主要用于關鍵器件表面涂層的制備,而溫度是影響氣相沉積涂層質量的關鍵參數,目前常規氣相沉積設備的使用溫度最高只有2000℃,本項目開發的氣相沉積設備使用溫度可達到2500℃

        產品介紹

        • 臥式化學氣相沉積爐主要用于以碳氫氣體(如C3H8、CH4等)為碳源的材料表面或基體的CVD/CVI處理

          高溫氣相沉積設備主要用于關鍵器件表面涂層的制備,而溫度是影響氣相沉積涂層質量的關鍵參數,目前常規氣相沉積設備的使用溫度最高只有2000℃,本項目開發的氣相沉積設備使用溫度可達到2500℃



          型號

          功率

          溫度

          Φ300*600

          100KW

          2500

          Φ500*1000

          200KW

          2500

          Φ800*2000

          400KW

          2500

          Φ1500*2500

          1000KW

          2500

           


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